5.2.1 儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應設置特種氣體探測裝置：

(2) 毒性氣體檢測采用電化 學 檢 測 裝置。

(3) 根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置。

5.2.3 為了明確檢測報警裝置的工作狀況，防止事故發(fā)生，本條規(guī)定了自燃性、易燃性、毒性氣體檢測裝置報警設定值的要求，本條第1款-第3款為強制性條款，必須嚴格執(zhí)行。

1 本款規(guī)定了自燃性 、易燃性氣體的一級報警和二級報警設定值，一級報警設定值不應大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設定值不應大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時，通過一次和二次監(jiān)測報警，自動關閉應急切斷閥，關斷氣源，防止事態(tài)擴大，采用25%和50%分別作為一級和二級報警值時行業(yè)內(nèi)的通常做法，既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸。

2 本款規(guī)定了劇毒性 、毒性氣體的一級報警和二級報警設定值，目的是在氣體早期泄漏時，自動關閉應急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的。

3 本款 規(guī) 定 了 惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設定值，目的是為了防止惰性氣體泄漏導致人員窒息傷亡，氧氣探測器一旦報警，啟動應急排風和自動關閉應急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的。

4 本款規(guī)定 二 氧 化 碳氣體系統(tǒng)宜設二氧化碳氣體探測器，主要是因為近年來，電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導致人員傷亡的情況，為保護人員生命安全，制定本款，目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為CO

₂的報警值。美國消防協(xié)會標準《壓縮氣體和低溫液體規(guī)范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規(guī)定，美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學會(ACGIH)關于TLV_S和BEI_S，即化學物質(zhì)、物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組(TLV_S)，CO₂的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm，短期數(shù)組(STEL-TLV)為30000ppm。

5.2.4 本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標準《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計標準》GB 50493中的有關規(guī)定，同時結合半導體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應要求做出檢測報警響應時間規(guī)定。

5.2.5 氣體探測器的設置位置是否恰當將直接影響到能否及時、正確報警，為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全、穩(wěn)定運行，本條按特種氣體相對密度的不同，做出了氣體探測器的設置位置不同的規(guī)定。

5.2.6 本條為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。規(guī)定在硅烷排風管道中設置氣體探測器，設定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯(lián)鎖，目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報警，防止事故產(chǎn)生。規(guī)定硅烷站設置環(huán)境氣體探測器，設定報警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖，這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報警導致影響正常生產(chǎn)，綜合考慮安全與生產(chǎn)的關系后，規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng)，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下，確認報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控)和11.1.4.2條(排風區(qū)域外的監(jiān)控)也做了規(guī)定，現(xiàn)摘錄如下：

11.1.4.1 排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控：排風區(qū)域應設置監(jiān)控裝置，當硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。

11.1.4.2 排風區(qū)域外的監(jiān)控：排風區(qū)域外應設置監(jiān)控裝 置，當硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。